HYKS-1000/300 SF6 kaasun tyhjiöpumppulaite

Tämä tyhjiöpumppu on suoraan{0}}kytketty pyörivä siipipumppu. Se koostuu staattorikammioon asennetusta roottorista ja kahdesta siivestä, jotka liukuvat roottorin rakoissa. Jousivoimalla ja keskipakovoimalla tiukasti painettuna sylinterin seinää vasten kaksi siivekettä erottavat sisätilan tulo- ja poistopuolelle. Kun roottori pyörii jatkuvasti kiinteään suuntaan, sisääntulo-sivukammio laajenee syklisesti vetäen sisäänsä kaasua, kun taas poisto{5}}sivukammio supistuu vähitellen puristaakseen sisään imetyn-kaasun. Puristettu kaasu poistetaan sitten poistoventtiilin kautta, jolloin saavutetaan kaasunpoistotarkoitus. Tässä pumpussa on kaksi-vaiheinen rakenne. Kun tulopaine on suhteellisen korkea, molemmat vaiheet poistavat kaasua pumppukammiosta samanaikaisesti. Kun tulopaine on alhainen, kaasu tulee korkeapaineiseen vaiheeseen tuloaukon kautta, virtaa matalapaineiseen vaiheeseen vaiheiden välisen ilmakanavan kautta ensisijaisen puristuksen jälkeen ja lopulta poistuu pakoventtiilin kautta toissijaisen puristuksen jälkeen. Tästä syystä se voi tuottaa tehokkaamman tyhjiön kuin yksivaiheiset{16}}pumput.